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    1. 技術服務

      技術服務

      Technical Services

      電子級氫氟酸技術

      【概要描述】將無水氟化氫經化學預處理后,進入精餾塔通過精餾操作,得到氟化氫氣體經冷卻后,在吸收塔中用超純水吸收,并采用控制噴淋密度

      電子級氫氟酸技術

      【概要描述】將無水氟化氫經化學預處理后,進入精餾塔通過精餾操作,得到氟化氫氣體經冷卻后,在吸收塔中用超純水吸收,并采用控制噴淋密度

        1、工藝技術介紹

        將無水氟化氫經化學預處理后,進入精餾塔通過精餾操作,得到氟化氫氣體經冷卻后,在吸收塔中用超純水吸收,并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級氫氟酸進一步純化,隨后經0.2um以下超濾工序,最后在密閉潔凈環境條件下進行灌裝得到最終產品。

        2、技術優勢

        (1)裝置占地小,技術成熟可靠,設備投資小。

        (2)工藝成熟、可靠,合成率高。

        3、工藝流程圖

      3-8

        4、產品指標

        表1 電子級氫氟酸產品質量指標

      項目

      指標

      EL級

      UP級

      UP-S級

      氫氟酸(HF) w/%

      49+0.5

      49+0.5

      49+0.5

      色度≤

      10

      10

      10

      硅氟酸 H2SiF6ppb≤

      100000

      20000

      20000

      氯化物 Cl ppb≤

      5000

      5000

      500

      硝酸鹽 NO3ppb≤

      3000

      3000

      3000

      磷酸鹽 PO4ppb≤

      1000

      1000

      100

      亞硫酸鹽 SO3 ppb≤

      5000

      2000

      200

      硫酸鹽 SO4 ppb≤

      5000

      500

      200

      鋁(Al)ppb≤

      100

      10

      1

      砷(As)ppb≤

      50

      10

      1

      鋇(Ba)ppb≤

      100

      10

      1

      鈹(Be)ppb≤

      20

      5

      1

      鉍(Bi)ppb≤

      20

      5

      1

      鎘(Cd)ppb≤

      50

      10

      1

      鈣(Ca)ppb≤

      100

      10

      1

      鉻(Cr)ppb≤

      20

      10

      1

      鈷(Co)ppb≤

      20

      10

      1

      銅(Cu)ppb≤

      20

      10

      1

      鎵(Ga)ppb≤

      20

      10

      1

      鍺(Ge)ppb≤

      20

      10

      1

      金(Au)ppb≤

      20

      10

      1

      鐵(Fe)ppb≤

      100

      10

      1

      鉛(Pb)ppb≤

      50

      10

      1

      鋰(Li)ppb≤

      20

      5

      1

      鎂(Mg)ppb≤

      200

      10

      1

      錳(Mn)ppb≤

      20

      10

      1

      鉬(Mo)ppb≤

      100

      10

      1

      鎳(Ni)ppb≤

      50

      10

      1

      鉀(K)ppb≤

      100

      10

      1

      銀(Ag)ppb≤

      20

      5

      1

      鈉(Na)ppb≤

      200

      10

      1

      鉑(Pt)ppb≤

      100

      10

      1

      鍶(Sr)ppb≤

       

      10

      1

      鉈(Tl)ppb≤

       

      10

      1

      錫(Sn)ppb≤

      20

      10

      1

      銻(Sb)ppb≤

       

      10

      1

      鈦(Ti)ppb≤

      100

      10

      1

      礬(V)ppb≤

       

      10

      1

      鋅(Zn)ppb≤

      50

      10

      10

      顆粒(≥0.5μm)個/ml≤

      25

      25

      25

      顆粒(≥0.3μm)個/ml≤

       

      150

      150

      顆粒(≥0.2μm)個/ml≤

       

      300

      300

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